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- 枪膛草原曾用旧名
bcd8810
枪膛草原
曾用旧名
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注册:2008-01-29 15:46:06
从七品上:朝散郎|翊麾校尉
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家园
首先并不存在什么14/10nm的光刻机。 所谓的22nm光刻机,应该是指使用193nm Arf光源的浸入式光刻机,也就是DUV,是各大芯片厂商都在用的光刻机。这是除了ASML的EUV以外世界第二的水平。这个机器的实际光刻精度好像只有38nm。但有了这个就能靠多重曝光做28nm,1 ...