主题：【原创】中微半导体45纳米蚀刻机 -- 可梦之

在德国，如果没记错的话。

plasma的刻蚀精度要看Aspect ratio,还有离子密度。

for 200mm or 300 mm product line?

ICP? RIE? downstream asher? or metal etcher?

For Si, for low k oxide, for high k HfO, for nitride?

fluorine based or chlorine based?

it's for trench etch, bosch etch, via etch...?

too many unknown, hard to tell how big advance it is.

不是high k/metal gate的。45nm用high k/metal gate的好像只有intel。

估计是300mm的。我想tsmc现在不会再上200mm设备。

看新闻，该设备用的是等离子。不用区分fluorine 或者 chlorine 吧。

fab那一块剥离出去了，给了阿拉伯人，搞了一个叫foundry company的东西。现在这个foundry company正式叫global foundry。AMD还用这个foundry company为自己生产cpu。

就是看公司愿不愿意费点体力为你申请，而且花费的时间比较长点

如果是要求高的背景审查好像挺花时间的。不过呀，我觉得这个东东就是防君子不防小人，如果真要偷什么技术，国家机器在那里呢，你能查出个花来才奇怪呢。

大概主要产口是华为内销吧！国内规模比较大的半导体公司，好像有，晶门科技，据说是香港的公司，珠海炬力，中星微电子，还有就是海思半导体，智多微电子。这些是大抵是前几位的，更多的就不清楚了！

很难真正评价。新闻中提到的那些技术特点实际上都是常识性的。

国内的ＤＲＹ　ＥＴＣＨ设备被ＡＭＡＴ和ＬＡＭ告非常正常。他们的核心技术人员恐怕就是从这两个公司出来。专利问题实际上要高度重视，不是可以不在乎。因为专利问题不能解决，首先就意味着你没法交流。没有人会愿意和你做技术上的交流与合作。再者你的产品也会受到限制。欧美市场一般也进不去了。我怀疑这个专利问题可能不是特别严重，否则ＴＳＭＣ不会接收这个产品的。而且长远看会成为自身的报应。因为你可以抄别人，别人也可以抄你。

你提到的公司应该是ＲＡＭＢＵＳ。它的问题是在参与ＪＥＤＥＣ的标准设计时设下了专利陷井。这些专利目前以在欧美日都被废除。除加州地方法院可能有地方主义的问题外，它以经输掉了与之相关的重要官司。目前的专利制度确实也有很多问题，美国国会当下就正在讨论新的法案。

抄袭最终是不能解决问题的。当年中国引进合成氨，立即就分解模仿了一套，但始终不能正常运转，只有在经过二十余年的基础研究后，９０　年代末中国才能比较有信心的建设类似设备。大型复杂系统，抄是抄不出来的。摆出抄袭有理的架子更是不好。学习是一回事，抄袭是另一回事。做生意不能摆出一幅我是流氓我怕谁的架势的。最终必须是寻求大家都能接收的利益分配。而专利问题是绕不过去的。

ＳＭＩＣ生产ＤＲＹ　ＥＴＣＨ的设备本身是个非常奇怪的事。它是ＦＯＵＮＤＲＹ，为什么要做设备商？我以前对ＳＭＩＣ曾寄以很高希望。现在的看法则是有政府支持对企业的成长恐怕未必是好事。ＳＭＩＣ如果还不能盈利，不知道将来怎么做下去。而盈利的前景实在是不看好。

事实上，如同你说的，抄袭也是学不来的。只有自己琢磨出来，才能真正掌握，只有有所创新，才能占领市场。更何况，核心的技术你想抄也没地方抄。

我的意思是说，因为美国等国家在科技上领先，已经在前面所有的路上都设置了专利，你在后面赶超，根本不可能绕过这个问题。无论你怎么走，都会告你侵权。而全面赶超，创建自己的体系还需要一段时间的技术积累。所以专利纠纷是必然经过的阶段。作为国内厂商，应该将主要经历放在研发和市场推广，而不是被专利问题束手束脚。当然不是说鼓励去抄袭。更何况，成功是不能重复的。你抄袭别人的，那就肯定在人家的后面。能有汤水喝就不错了，还怎么去超越。

现在欧美公司怕的不是中国厂商的抄袭，因为谁都明白抄袭是没有前途的。他们真正害怕的是中国公司在一些领域已经自己琢磨明白了。再这样下去，就能研制出自己的产品，这样他们就没有好日子过了。就好像华为一样，一直被说抄袭cisco。但是说实话，抄袭cisco的公司多的是，美国就有一堆。只有你自己研究透了，才能占领市场。只是网络整个框架和标准大部分都是cisco定的，你不符合他的标准就没有办法用。而你符合他的标注，类似的问题很难有迥异的解决方法，那就说你侵犯专利。这个问题只有等华为成长到足够大了，能够参与订立行业标准才能解决。不过那个时候如果有新的竞争者出现，就成了华为告别的公司侵犯专利了。我们应该承认成长的过程中多多少少有抄袭，但是成功的原因肯定不是抄袭。否则cisco也不会撤诉了。

事实上，专利的历史并不长。只是先进公司保持自己垄断的一种手段。它对知识创新客观上有好处。但是现在也有不少问题，有时候反而阻止了知识创新。

政府支持企业有利有弊。有成功的，比如日韩一些大公司，背后都有政府的身影。当然照顾太多就失去了竞争力。我觉得应该避免的是无条件的支持，而是真正支持那些有技术，有竞争力的公司。因为大多时候，决定一个公司成败的往往不是技术。面对IT巨头庞大的资金和资源，没有政府的支持，刚冒出个苗头来就被直接按死了。美国公司内部还可以相对公平的竞争，但是中国的公司插进去想要那个公平的环境，就很困难了。

你说到专利问题，其实和历史上的海盗问题有些类似。西班牙强大的时候，英国海军不行，就只能去抢，所以那时候大部分海盗背后都有英国政府的支持。等英国打败了西班牙，强大起来。就开始剿灭海盗了。其实专利就是一个利益斗争的工具。

中微是半导体设备制造商。

ＳＭＩＣ中文通常叫什么？

不过从半导体来说，后进赶前进并不是不可能的。专利问题并不是核心。

ＳＡＭＳＵＮＧ的ＤＲＡＭ技术从ＴＯＳＨＩＢＡ来，但它以经迫使Ｔ退出了ＤＲＡＭ，现在在ＦＬＡＳＨ上它也是Ｔ的有力竞争者。Ｓ加入半导体不过是十多年的事情。ＴＳＭＣ在生产效率上也超过了美国，所以ＴＩ，ＩＢＭ把生产转到了ＴＳＭＣ　ＵＭＣ。

技术进步上没有捷迳可走。扎实的基础研究尤其重要。ＲＤ是需要一个长期策略的。不过我觉得关键是不论做什么，一定要有盈利的前景和策略，否则总归是不行。随便说说吧。。。

Semiconductor Manufacturing International Corporation, 中芯国际集成电路制造有限公司，简称中芯国际。

中微，全称中微半导体设备公司。英文名称，Advanced Micro-Fabrication Equipment Inc.，缩写AMEC。总部在新加坡。上海为生产和研发。

毕竟圣人都是稀少的。要有利益刺激大家才会去努力。

不过韩国和台湾与美国的关系都比大陆亲密的多。如果能买到先进的生产线，我相信中国能比他们作的更有效率。