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主题:人生的三原色:你我想做什么,能做什么,必须做什么 -- jent

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家园 surface plasma的技术让

365nm的光源做到22nm的线宽,但是在多层之间的overlay(套刻精度),depth of foucus (焦深)和throughput(效率),等问题没有解决之前,显然目前不能量产在超大规模集成电路的制造中

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有趣有益,互惠互利;开阔视野,博采众长。
虚拟的网络,真实的人。天南地北客,相逢皆朋友

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